组合体
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各种超高真空组合体可以单独或组合使用，是真空系统的构成基础。代表性的组合体有样品加热、降温、离子枪、电子枪和各种蒸发源，广泛用于薄膜生长、材料分析等用途。根据用户特殊要求而设计制作，信赖度高。