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RHEED电子枪

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反射高能电子衍射仪（Reflection High-Energy Electron Diffraction RHEED），由高能电子枪和荧光屏两部分组成。从电子枪发射出来的具有一定能量（通常为10-30keV）的电子束以1-3°的掠射角射到样品表面，通过分析衍射图形，可实时获得样品表面原子的信息。