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等离子体源产生并发射等离子体，通过离子能量传递的辅助，提高薄膜的粒子密度和对衬底的附着力，改善薄膜的光机性能。

特点：结构简单、等离子体密度高、使用寿命长。

常用：MgZnO，ZnO，GaN，GaInAlN，GaInAsN


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