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产品参数

S：移动距离（客户指定）  

例：底座法兰ICF152，滑动法兰ICF114，驱动距离为100mm，则型号为HD-XYZ-152-100  

焊接波纹管密封，有效通径大  

超高真空环境下，XYZ三维平移  

适用于重负载驱动，比如安装液氦杜瓦或特殊样品台  

安装角度自由  

可以附加旋转，加热及冷却功能  

烘烤温度：>200℃  

XY±25mm备选  

电机驱动备选


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