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产品参数

S：移动距离（客户指定）  

例：滑动法兰ICF70，底座法兰ICF114，驱动距离为100mm，则型号为HP-XYZ114-70-100  

超高真空三维平移  

两段焊接波纹管密封，XY驱动和Z驱动独立组装  

有效通径大，适合安装液氦杜瓦或特殊样品台  

内置支撑环，随滑动法兰移动，确保样品架稳定  

安装角度自由  

烘烤温度：>200℃  

可电机驱动


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