知识讲座

前言 >

第一章 真空知识概论

1.1什么是真空 >

1.2真空的发现和理论基础 >

1.3几个重要的概念 >

1.4真空技术的应用 >

第二章 真空密封

2.1永久密封 >

2.2非永久密封 >

2.3真空法兰 >

2.4真空导入要素 >

2.5波纹管 >

第三章 影响真空度的要素

3.1真空检漏 >

3.2真空中的材料气体放出 >

3.3真空材料的表面净化和抛光 >

3.4真空系统排气的计算 >

第四章 真空系统

4.1真空系统的构成 >

4.2真空腔体 >

4.3真空泵 >

4.4真空计 >

4.5真空阀门 >

4.6各种运动导入器 >

4.7配管连接元件 >

4.8样品温控及检测 >

4.9蒸发源 >

4.10功能组件 >

第五章 典型的薄膜生长方式

5.1物理方式成膜 >

5.2化学方式成膜 >

参考文献 >

附录 >